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S3000N高解晰可變真空掃描式電子顯微鏡及能量散佈光譜儀 (S3000N-SEM)

簡稱 S3000N
機台編號 PISC007
中文名稱 S3000N高解晰可變真空掃描式電子顯微鏡及能量散佈光譜儀 (S3000N-SEM)
英文名稱 Variable Vacuum Scanning Electron Microscope and Energy Dispersive Spectrometer
功能說明 1.可以二次電子(SE)偵測固體材料試片的表面型態。 2.背向式電子(BSE)提供試片COPO、TOPO及3D型態影像。 3.低真空環境試片拍攝,真空值可調整為1~270Pa。 4.能量散佈光譜儀主要偵測試片表面的元素分析,可提供的資訊為: (a)元素半定量分析,分析元素範圍B(5)~U(92)。 (b)點線面半定量/定性分析。 (c)材料表面元素分布分析(Mapping)。
儀器服務項目 1.二次電子影像觀察。 2.背向式電子影像觀察。 3.元素定性、半定量分析(B(5)~U(92))及Mapping及Line scan。 4.影像光碟製作。 5.試樣鍍金。
儀器購置日期 2002-07-03 00:00:00
儀器購置金額 0
儀器廠牌 日本HITACHI
型號 S3000-N
儀器規格 二次電子(SE) 影像解析度為3nm;背向式電子(BSE)影像解析度為4.5nm。
主要配件,配件 1.能量散佈光譜儀, 2.HITACHI E-1010 ION SPUTTER
儀器放置位置 理113
注意事項 1.試件取樣直徑最大不超過20mm,最大高度需小於30mm,試片裁取自行處理,並請保持試片乾淨。 2.如為粉體或是纖維狀試件,請先黏貼或包埋固定處理。 3.未曾於本中心室進行實驗之人員,請先電話聯繫,以確定樣品處理方式。 4.本儀器拒絕受理(1)含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試樣;(2)具磁性試樣。