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熱阻式蒸鍍系統 (TE)

簡稱 TE
機台編號 PISC018
中文名稱 熱阻式蒸鍍系統 (TE)
英文名稱 Thermal Evaporation Coater
功能說明 薄膜蒸鍍(主要用於鋁金屬之蒸鍍)。
儀器服務項目 1. 擴散幫浦:(1500L/SN2),最低壓力1.0E-6 Torr 。 2. 基板大小:4"、6" 。 3. 鍍膜均勻性:+-5%以內(4吋基板)。
儀器購置日期 1999-07-20 00:00:00
儀器購置金額 0
儀器廠牌 大永真空
型號 DMC-400VT-1
儀器規格 金屬薄膜蒸鍍(不接受污染性之金屬,如Au)
主要配件,配件
儀器放置位置 資424
注意事項 1. 委託服務試片,請註明基材表面上之主要材料及欲蒸鍍之材料。 2. 試片請自行準備清洗。 3. 蒸鍍之材料及鎢舟請自備。 4. 特殊製程須經儀器負責人同意,方可使用。 5. 若違反上述規定,而造成機台污染或損害者,除停止其使用權利外,並將追究其相關賠償責任。